在光伏產業(yè)追求高效能、低成本的發(fā)展浪潮中，TOPCon 激光摻雜設備逐漸成為提升電池效率和生產效率的關鍵設備之一。海目星憑借深厚的激光技術積淀，研發(fā)的TOPCon激光摻雜設備憑借自主技術優(yōu)勢，為光伏制造工藝的優(yōu)化升級提供了強有力的技術支撐。
海目星的TOPCon激光摻雜設備采用BSG（硼硅玻璃）作為摻雜源，通過獨特的工藝流程實現(xiàn)高效的激光摻雜。具體來說，設備首先通過擴散爐推進高硼表面濃度的P++層，但不進行氧化，以P++層作為激光摻雜源，再進行激光摻雜和氧化工藝。這一創(chuàng)新工藝不僅解決了硼摻濃度問題，還簡化了選擇發(fā)射極的制備工藝流程，顯著提升了生產效率。
具體參數(shù)方面，海目星的TOPCon激光摻雜設備尺寸為長×寬×高：5500×2300×2500（不包含三色燈、除塵機、冷水機），適用硅片尺寸涵蓋182*182mm-230*230mm，能夠滿足不同尺寸硅片的生產需求。在產品性能上，海目星的TOPCon激光摻雜設備碎片率率控制在≤0.02%，圖形精度和對準精度均達到±15um，確保了生產過程的高精度和高質量。產能方面，182尺寸硅片產能≥8400pcs/h（柵線數(shù)量<132），210尺寸硅片產能≥7300pcs/h（柵線數(shù)量<152），能夠滿足大規(guī)模生產的效率要求。
海目星的TOPCon激光摻雜設備以其先進的技術、卓越的性能和強大的定制能力，為光伏制造工藝的優(yōu)化升級提供了有力支持。通過簡化工藝流程、提升生產效率和精度，海目星的設備不僅提高了光伏電池的生產質量，還降低了生產成本，為光伏產業(yè)的可持續(xù)發(fā)展注入了新的動力。
