海目星首條Micro LED中試線順利出貨，點亮顯示新“境”界

2024-08-02

企業新聞

近日，海目星首條Micro LED中試線順利出貨，涵蓋Micro LED巨量轉移、Micro LED巨量焊接、Micro LED激光修復等設備，并已完成廠內FAT驗收，產線效率達25-100kk/h，制程良率達99.99%以上，實現≤50μm的Micro LED芯片應用要求。

Micro LED中試線的順利出貨標志著海目星已全面打通顯示科技成果轉化應用的“最后一公里”，正在不斷加速Micro LED顯示技術迭代、工藝創新和大規模量產的進程。

隨著5G、人工智能等新一輪科技革命的浪潮，顯示技術正以前所未有的速度向前演進。2024年，Micro LED進入技術研發的大年，在車載顯示、商顯、常規消費電子和VR/AR/MR等不同領域展現出巨大的市場增量和應用潛能。

工欲善其事，必先利其器。作為下一代主流顯示技術，Micro/Mini LED前景廣闊，但量產仍面臨著巨量轉移、焊接精度、生產良率、檢測返修等諸多難題。要想實現大規模量產，并趕超國際領先水平，研發優質顯示智造裝備已成必要前提。當下，頭部Micro/Mini LED顯示智造設備供應商正全力研發，通過持續創新突破技術瓶頸，構建差異化競爭優勢，為新顯產業高質量發展注入新動能。

海目星憑借強大的研發實力和對市場的洞察力，迅速在Micro LED設備領域進行前瞻性布局，業內率先實現Micro/Mini LED切割、轉移、鍵合、檢測和修復等行業關鍵工藝覆蓋，并持續攻克芯片段、顯示模組段、顯示集成段工藝制程中的重難點，助推Micro LED技術變革和新顯關鍵設備國產自主化。

Micro LED激光巨量轉移方案

#01

海目星逐一突破高速定位、精準對位、激光工藝等關鍵技術瓶頸，實現高效率、高精度的Micro LED芯?巨量轉移/單點修復轉移解決方案。

在光學系統上，海目星采用固體激光器和自研光學整合系統，顯著提高光源系統的穩定性。在運動控制上，海目星自主研發的高精度運動平臺，極大提高巨量轉移工藝的良率和效率。全段采用模塊化兼容設計，配合智能去除修復設備，實現整段制造流程整合，更具量產化的生產優勢。

Micro LED激光巨量焊接方案

#02

海目星應用勻化達95%以上的紅外光源，搭配高精度溫控系統、快速視覺對位與自研AI演算法實現大面積、高效率、高可靠性的芯?的巨量鍵合。本制程為使用光斑整形后的線型光斑，將預先排列于玻璃上的LED，通過吸收激光之能量后實現巨量焊接的工藝。

就工藝效果而言，Micro LED巨量焊接設備在完成焊接后，透過目檢可看到芯片對位精準，在點亮測試中可實現點亮與控制皆符合制程要求。目前Micro LED巨量焊接設備已實現12”以上基板RGB三色焊接工藝，良率至高達99.99%以上(排除來料芯片等異常)。

Micro LED激光巨量修復方案

#03

海目星針對Micro LED制程中產生的缺陷，進行膠層、芯片去除與平面度達百納米級的焊盤修整，以利后續修補制程。

通過?主開發的AI整合系統,?動識別修補位置,避免因誤判造成的修補失敗,保證產品安全。同時，匹配微米級光斑對小至5μm的Micro LED的芯片進行去除，不傷及相鄰芯片及焊盤與其他層。

經過該設備修整之后，配合后續的補芯與焊接制程，面板點亮良率可達到99.9999%，能夠高效可控地解決Micro LED顯示面板無法完美修復的問題與痛點。

光耀視界，向新篤行。中國顯示產業正從規模擴張階段邁向全球競爭階段，面對終極顯示技術和產業量產的重重困難，海目星始終聚焦Micro LED的發展生態和多元應用，通過“夯基礎、鍛長板、補短板”，為加快打造全球新型顯示技術創新高地，推動中國光電科技產業邁向更加繁榮和可持續的未來，風雨無阻向前進。

撰稿 | 潘鳳儀

編輯 | 秦佳萍

設計 | 周甜

審核 | 孫曉東馮鈿

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